概括：Neovac是韩国真空巨头之一的KOWEL公司旗下一体化设计真空产品系类，具有清洁、高速、高效的特点，特别适用于半导体、电子器件等精密工艺。
韩国Kowel公司几十年来一直致力于真空技术及产品的研发生产，产品质量及性能都具有较高的可靠性。地处大湾区的区域优势及雅迪勤多年来的通用机械经验，使得Kowel将NEOVAC系列授权我司。
型号 | SS 120 | SS 200 | SS 300 | |
气量 | m³/h | 100 / 120 | 155 / 187 | 267 / 320 |
L/min | 1666 / 2000 | 2583 / 3117 | 4450 / 5333 | |
极限压力（50/60Hz） | mbar | 2.6×10-2/ 6×10-3 | 1×10-2/ 6×10-3 | 9×10-3 / 1.3×10-3 |
Torr | 2×10-2 / 5×10-3 | 8×10-3 / 5×10-3 | 7×10-3/ 1×10-3 | |
Pa | 2.66 / 0.66 | 1.06 / 0.66 | 0.93 / 0.13 | |
功率 | Kw | 3.7 | 5.5 | 7.5 |
口径 | 进气口 | NW50 | NW50 | NW50 |
排气口 | NW40 | NW40 | NW50 | |
噪音 | db | <65 | <65 | <65 |
齿轮油 | L | 0.45 | 0.45 | 1.6 |
冷却水流量 | L/min | 3 | 3 | 7 |
重量 | kg | 210 | 350 | 470 |
型号 | SS 600W | SS1200W | SS1800W | SS2400W | SS3000W | SS5000W | |
气量 | m³/h | 568 / 660 | 930 / 1220 | 1552 / 1862 | 2026 / 2432 | 3000 | 5000 |
L/min | 11000 | 20333 | 31033 | 40533 | 50000 | 83333 | |
极限压力（50/60Hz） | mbar | 6×10-4 | 6×10-4 | 6×10-4 | 6×10-4 | 6×10-4 | 6×10-4 |
Torr | 5×10-4 | 5×10-4 | 5×10-4 | 5×10-4 | 5×10-4 | 5×10-4 | |
Pa | 0.06 | 0.06 | 0.06 | 0.06 | 0.06 | 0.06 | |
功率 | Kw | 7.4 | 7.4 | 11 | 15 | 18.5 | 30 |
口径 | 进气口 | ISO100 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | ISO200 | ISO320 |
排气口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW50 | ISO63 | ISO80 | |
噪音 | db | <65 | <65 | <65 | <65 | <65 | <65 |
齿轮油 | L | 1.8 | 1.8 | 4.2 | 5.6 | 5.6 | 14.2 |
冷却水流量 | L/min | 4~5 | 4~5 | 5~7 | 11 | 15 | 28 |
重量 | kg | 340 | 460 | 740 | 970 | 1070 | 1600 |
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